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半导体制造设备用轴承型号前后缀说明播

发布时间:2023/6/19 17:15:38    字号:    

在前面几天,我们陆续介绍了《半导体制造和真空极端环境用轴承简介》与《半导体制造设备及相关轴承简介》的简单介绍,今天为大家带来半导体制造设备用轴承型号前后缀的详细说明。

半导体制造设备用轴承分几种,一是真空轴承,其型号如5MG-SEB08J1ZZ1C3/0G,二是超清洁轴承,其型号如MT2-SEB08J1ZZ1C3/0G,三是长寿命超净轴承,其型号如MT2-5PT-SEB08J1ZZ1C3/0G,四是低颗粒润滑脂轴承,其型号如SEB08J1ZZ1C3/L635QMP,五是真空环境用低颗粒润滑脂轴承,其型号如SEB08J1ZZ1C3/LX23Q67。

真空轴承5MG中的5代表固体润滑膜的零件代码,5代表滚珠,若为2,代表内圈和外圈,MG代表固体润滑剂代码,MG代表镀银轴承,除此外,还有MM(二硫化钼涂层轴承),MN(镀铅轴承);

长寿命超净轴承中的MT2-5PT代表长寿命超净轴承,若仅为MT2,代表长寿命超净轴承,若无前缀,代表润滑脂润滑轴承,润滑脂型号在轴承代号的最后面;

J1是保持架代号,即奥氏体不锈钢保持架,此外还有T3(聚四氟乙烯树脂保持架),L9(铅铜合金保持架);

/0G是润滑脂代号,代表固体润滑脂,除此外,还有/L635(低颗粒润滑脂),/LX23(低颗粒氟润滑脂)等。

低颗粒润滑脂轴承最后的代号QMP或Q67代表润滑脂填充量,QMP是NTN的标识方法,代表润滑脂填充量从QM-QP,即25%-32.5%,除此外,还有QD(5%-10%),QE(7.5-12.5)等等共十余种,Q67是SNR是标识方法,代表润滑脂填充量67%。